近日，曼恩斯特首套显示面板智能旋涂系统顺利交付显示面板行业某头部客户，其中包括旋涂设备、平板涂布设备、EBR清边设备、VCD及配套装备。此次交付，不仅标志着公司在显示面板精密涂布装备领域的技术实力再获行业头部客户认可，也进一步完善了曼恩斯特在泛半导体高端装备领域的产品布局。

针对显示面板行业研发阶段材料体系多样、工艺窗口验证频繁、薄膜一致性要求高等需求，曼恩斯特依托多年精密涂布技术积累，打造旋涂与EBR清边协同解决方案，为新型显示面板工艺开发提供可靠装备支撑。

01 三大核心优势 助力工艺开发

作为本次交付的核心装备之一，旋涂设备主要面向显示面板及半导体研发应用，支持不同类型光刻胶涂覆，满足工艺开发与验证需求。

高精度涂布，多材料兼容

设备采用高精度闭环伺服运动控制，片内、片间均匀性均≤2%，支持0.5–50 μm宽膜厚范围，兼容光刻胶及多种工艺药液，满足超薄膜至厚膜开发需求，支持手动、半自动及全自动运行模式，显著提升研发效率与灵活性。

精准流体控制，保障工艺稳定

针对0–3000 cP不同粘度药液，配备多喷嘴自动切换系统，实现材料快速切换；供液罐至输送管路全过程闭环恒温控制，温控稳定性达±0.2℃，有效保持药液粘度稳定，提升涂布一致性与重复性。

同步交付的EBR清边设备，清边宽度2~3 mm、精度±0.3 mm，可有效减少边缘堆积，为后续曝光、贴合等工艺提供更优基片条件。

智能工艺管理，助力数字化研发

支持多组工艺配方管理与快速调用，满足不同材料体系及工艺窗口验证；关键工艺参数实时监测，全过程数据记录与追溯，兼容OPC协议，支持与MES系统及上下游设备互联互通，为工艺优化与智能制造提供支撑。

此次同步交付的平板涂布设备及VCD已在多家头部客户稳定应用，产品性能及工艺可靠性经多个项目验证，可与旋涂设备协同实现研发关键工艺的高效验证，进一步提升研发平台整体运行效率。

02 专业项目交付 护航研发验证

从项目启动到交付，曼恩斯特项目团队始终以客户需求为导向，协同推进工艺适配、设备集成、安装调试及技术培训。

针对研发设备对工艺稳定性、材料兼容性及数据管理的要求，团队持续优化方案，完成多轮工艺验证与性能测试，为客户后续工艺开发提供有力保障。

03 全流程装备能力 助力产业化落地

依托多年精密涂布技术积累，曼恩斯特持续完善产品矩阵，围绕钙钛矿太阳能、半导体板级封装、显示面板等泛半导体领域，构建覆盖实验研发、中试验证及规模化量产的全流程涂布技术解决方案。目前，相关涂布装备已完成多个项目交付验证。

未来，曼恩斯特将继续坚持自主创新，完善精密涂布装备体系，以更稳定、高效、智能的解决方案，助力全球显示及泛半导体产业高质量发展。